国产光刻机真跑起来了，不是PPT里的，是芯片厂里转着的，没人再天天问“造出来没”了。 2026年初，我刷到中芯国际产线视频——一台标着“SMEE 28nm DUV”的机器正在自动换片，旁边工牌写着“上海微电子售后组”。没配音，没字幕，就几十秒，评论区全在问：“这台是不是去年11月交货那批？” 以前说造不出光刻机，其实是把“整机”想得太神了。ASML自己也不做镜头、不做光源，靠全球几百家厂拼起来。咱现在镜头用茂莱的，激光晶体用福晶的，运动平台是清华团队做的，连真空腔体都是合肥科烨自己焊的。85%国产化率，不是关起门硬凑，是真把供应链一环一环接上了。 跑片这事最骗不了人。去年底上海政府采购网挂出1.1亿元光刻机中标公告，甲方是无锡一家封测厂，型号SMEE-500A，交付时间写的是2025年12月20日。我特意去扒了他们年报，今年Q1良率报表里有一行小字：“新增28nm光刻制程，良率91.3%”。 光源这块儿反而最意外。中科院那个全固态193nm激光器，没写论文轰动，但今年初比亚迪电控芯片产线升级公告里提了一嘴：“采用国产深紫外光源，设备停机维护频次下降四成”。 不光造芯片，这玩意儿还干别的。歌尔年报里写了，用同款DUV光刻机做的压力传感器，已经装进阿联酋新一批巡飞弹；瑞声的MEMS麦克风去年外销涨了37%，客户反馈“精度比上一代进口件还稳”。 ASML去年卖给我们665亿光刻机，占它全球营收1/3。但同一季度它裁了1700人，EUV产线扩得没以前猛了。朋友在苏州ASML售后部做工程师，他私下说：“现在最忙的是DUV换镜片，EUV一年没几个单，光镀膜返工就卡住。” 张江高科去年因为光刻机订单涨停那天，我路过证券营业部，门口老大爷边嗑瓜子边问：“这玩意儿真能刻芯片？别是刻个公章吧。”他闺女在华虹上班，回了一句：“刻完了，正封装运比亚迪呢。” 国产光刻机不是突然冒出来的。是从2021年第一批110nm样机进产线，到2024年跑通车规芯片验证，再到2025年客户签单、交货、量产、修机、再下单——一圈一圈磨出来的。 现在没人再翻朱士尧三年前那篇访谈了。 厂里灯光亮着，机台转着，片子流着。 就这些。
