从官方披露的参数来看,该DUV光刻机分辨率为≤65nm,套刻精度≤8nm。虽然相比之前上微的SSA600光刻机有所提升(分辨率为90nm),但是仍并未达到可以生产28nm芯片的程度,更达不到制造什么8nm、7nm芯片的程度。很多网友直接把套刻精度跟光刻制造制程节点水平给搞混了。
从官方披露的参数来看,该DUV光刻机分辨率为≤65nm,套刻精度≤8nm。虽然相比之前上微的SSA600光刻机有所提升(分辨率为90nm),但是仍并未达到可以生产28nm芯片的程度,更达不到制造什么8nm、7nm芯片的程度。很多网友直接把套刻精度跟光刻制造制程节点水平给搞混了。
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