国产的干式DUV,属于中端光刻机,高端为浸润式D∪V,还有EUV光刻机,8纳米那是套刻,属于雕刻精度,制成达到8纳米,制成20纳米以上,解决28纳米芯片。即便攻克光刻机,那是套刻光刻机,而不是制程光刻机,这不是一个档次!当然,短时间有此成就,也应该值得骄傲了!
国产的干式DUV,属于中端光刻机,高端为浸润式D∪V,还有EUV光刻机,8纳米那是套刻,属于雕刻精度,制成达到8纳米,制成20纳米以上,解决28纳米芯片。即便攻克光刻机,那是套刻光刻机,而不是制程光刻机,这不是一个档次!当然,短时间有此成就,也应该值得骄傲了!
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