大业十三年（617年）八月，李渊任命刘弘基为渭北道大使，让殷峤做他的副手。他们向西进军，攻占扶风地区，率领六万兵力向南渡过渭水，在长安故城屯兵驻扎。隋朝将领卫文升从金光门出来迎战，殷峤与刘弘基一起将其打败，擒获了一千多名披甲的士兵，还有几百匹马。十一月，唐军攻克隋朝都城长安，殷峤被赐予陈郡公的爵位，升任丞相府掃。没过多久，改任吏部侍郎。殷峤跟随秦王李世民率领八个总管的兵力讨伐薛举，结果战败，士兵战死的有十分之五六，殷峤因此被削除官籍，贬为平民。后来又跟随军队平定薛举的儿子薛仁杲，才恢复了爵位。