中国EUV光刻机即将问世。 中国EUV光刻机目前正在华为的东莞基地测试，其技术渠道采取的是不同于荷兰LPP的LDP路线。 EUV光源分为好多种，分别为LPP-EUV、DPP-EUV、LDP-EUV等。荷兰ASML选择的是LPP路线（激光等离子体），咱们国家一直在多路线推进，华为走的是LDP路线（激光诱导放电等离子体）。