晶瑞电材：共有5台光刻机用于研发及量产
证券之星消息，晶瑞电材(300655)10月30日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。
投资者提问：贵司曾购买两台光刻机，能否介绍一下这两台光刻机用于研发光刻胶的适用制程？
晶瑞电材回复：尊敬的投资者您好！公司共有5台光刻机及其配套设备，分别用于紫外宽谱、g线、i线、KrF和ArF产品的研发以及量产。感谢您对公司的关注与支持！
晶瑞电材配备的这5台光刻机，就像一个功能齐全的“高科技印章实验室”，专门用来研发和测试公司的关键产品——光刻胶。这套设备覆盖了从基础到尖端的全部主流技术类型，在国内非常少见。
具体来看：
1. 紫外宽谱光刻机 像是“万用章”，适应性强但精度较低，主要用于对线路精细度要求不高的产品，比如我们日常生活中电器里用到的印制电路板（PCB） 的制造。
2. g线光刻机 可以比作技术非常成熟的“标准章”，用它来开发和测试的g线光刻胶，常用于制造一些特征尺寸在0.5微米以上的芯片，比如很多家电、汽车里的功率器件和传感器。
3. i线光刻机 则是精度更高的“精密章”，它是当前很多成熟芯片工艺的主力。晶瑞电材用这台设备研发的i线光刻胶，可以用于制造0.35微米到0.25微米特征的芯片，广泛应用在模拟芯片、显示驱动芯片等领域，并且公司的相关产品已经成功进入了像中芯国际这样的国内芯片制造巨头供应链，实现了批量供应。
4. KrF光刻机 是“高精章”，用于制造电路更复杂、集成度更高的芯片。用它研发的KrF光刻胶，可以对应0.18微米到0.11微米的技术节点，是制造高密度存储芯片（如电脑内存条里的DRAM芯片）的关键材料。公司的KrF光刻胶产品也已经量产出货，标志着其技术能力迈上了重要台阶。
5. ArF光刻机 是目前最顶尖的“尖端章”之一，用于攻坚最高端的芯片制程。这台设备是公司研发ArF光刻胶的核心工具，这类光刻胶是制造65纳米到28纳米乃至更先进芯片（比如手机、电脑里的高端处理器）所必需的。目前，公司的ArF光刻胶正处于向客户送样测试的阶段，这是实现国产突破最关键、也是最难的一步。
总而言之，拥有这套完整的设备，意味着晶瑞电材搭建了一个强大的内部研发平台，无需依赖外部就能高效地测试和优化产品。这充分展示了公司具备从低端到高端全系列光刻胶的研发和量产能力，不仅在国产替代中占据领先优势，也能更好地服务像中芯国际、长鑫存储等国内各大芯片工厂的不同需求。
