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第一，中国上海微电子装备有限公司近日公布了一系列关于7纳米芯片制造技术的关键专利，这一消息震惊了全球半导体行业。第二，这些专利涵盖了极紫外线光刻技术的核心部件，如极紫外线辐射发生器，其性能已达到国际先进水平。第...