关于国产EUV光刻机的消息：中芯国际已预留产能，等待国产EUV光源的正式投产

关于国产EUV光刻机的消息： 中芯国际已预留产能，等待国产EUV光源的正式投产。华特气体的高纯钼材料订单增加了五倍，显示国产光刻机对本土供应链的积极影响。之前有外媒报道，...这几年来，国内官方机构多次披露EUV光刻机信息： ...