光刻机概念股，建议收藏！！
一、整机与系统集成
1、张江高科：通过参股上海微电子布局光刻机产业链
2、上海电气：控股股东为上海微电子重要股东
3、海立股份：上海电气旗下企业，参与光刻机配套设备
二、核心部件
①光源系统
4、茂莱光学：精密光学元件核心供应商
5、福晶科技：全球非线性光学晶体龙头
6、波长光电：光刻机激光光学元件厂商
②物镜与光学系统
7、奥普光电：长春光机所旗下，承担物镜系统研发
8、赛微电子：MEMS光学器件技术领先
③控制系统
9、电科数字：光刻机运动控制模块开发商
④精密结构件
10、富创精密：半导体设备精密零部件龙头
11、新莱应材：高纯不锈钢材料供应商
三、关键材料与设备
①光刻胶与材料
12、南大光电：ArF光刻胶国产化核心
13、晶瑞电材：g/i线、KrF光刻胶供应商
14、清溢光电：掩膜版国内龙头
②辅助设备
15、芯源微：涂胶显影设备国内唯一供应商
四、下游制造与验证
16、中微公司：刻蚀设备国际领先
17、中芯国际：光刻机核心用户
18、华虹半导体：特色工艺龙头
五、科研与产业化
19、炬光科技：高功率激光器件供应商
20、苏大维格：纳米压印光刻技术储备
