光刻机产业链各细分领域的龙头公司汇总一、整机集成与生态整合张江高科：国产光刻机整机核心资本平台龙头上海微电子（未上市）：国产光刻机整机制造唯一龙头二、光学系统茂莱光学：光刻机超精密光学元件龙头波长光电：大孔径光刻镜头及掩模光刻系统龙头奥普光电：光刻机纳米级工件台与物镜系统龙头福晶科技：光刻机用非线性光学晶体全球龙头三、光源系统福晶科技：固体激光晶体材料龙头凯美特气：光刻用特种气体（含EUV光源气体）龙头炬光科技：光束匀化与激光光学系统龙头四、精密运动与控制系统华卓精科（未上市）：光刻机双工件台技术龙头同飞股份：光刻机激光器温控系统国产唯一龙头五、核心结构件与真空/气体系统富创精密：ASML认证的光刻机精密金属结构件龙头新莱应材：高纯真空与气体管路系统龙头六、光刻胶及配套材料南大光电：ArF光刻胶国产量产标杆龙头彤程新材：KrF/ArF光刻胶全品类布局龙头上海新阳：覆盖I线到ArF浸没式全系列光刻胶龙头七、清洗与辅助设备蓝英装备：光刻前道晶圆清洗设备国产替代龙头八、直写光刻与特色工艺设备芯碁微装：激光直写光刻设备龙头苏大维格：紫外光刻直写整机自主研发龙头
