“制造芯片的三台机子”1、刻蚀机2、注入机3、光刻机第一个中国很先进，第二个一直

老张观商业 2026-01-27 00:50:55

“制造芯片的三台机子”1、刻蚀机2、注入机3、光刻机第一个中国很先进，第二个一直没有，第三个出了首台在验证。这个是第二个注入机：从中核集团中国原子能科学研究院获悉，由该院自主研制的我国首台串列型高能氢离子注入机（POWER-750H）成功出束，核心指标达到国际先进水平。这标志着我国已全面掌握串列型高能氢离子注入机的全链路研发技术，攻克了功率半导体制造链中的关键环节，为推动高端制造装备自主可控、保障产业链安全奠定坚实基础。

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