光刻机决战！中国EUV三路突围，蔡司镜头成最后堡垒， 德国蔡司放话：EUV光学系统全球无替代！但中国正三线攻坚：哈工大13.5nm光源量产、华卓精科纳米级双工件台就绪，唯光学镜片仍需攻克原子级平整技术。 无锡邑文电子已用ALD镀膜技术助小米手机消灭镜头鬼影，为光路系统积累经验。 叶国光预言：五年内中国必造出EUV整机。 我认为，十万零件集成的光刻机是地狱级挑战，但中国科研的韧性就是破局密码！
光刻机决战！中国EUV三路突围，蔡司镜头成最后堡垒， 德国蔡司放话：EUV光学系统全球无替代！但中国正三线攻坚：哈工大13.5nm光源量产、华卓精科纳米级双工件台就绪，唯光学镜片仍需攻克原子级平整技术。 无锡邑文电子已用ALD镀膜技术助小米手机消灭镜头鬼影，为光路系统积累经验。 叶国光预言：五年内中国必造出EUV整机。 我认为，十万零件集成的光刻机是地狱级挑战，但中国科研的韧性就是破局密码！
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